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Gemini™ 大氣壓至超高真空真空計

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好處

  • MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the  PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.

  • 在惡劣環境下,使用壽命長

  • 低雜散磁場
  • 零維護- 可換插頭
  • 超緊湊尺寸
  • 可靠的快速點火
  • 抗腐蝕饋入裝置
  • 可選測量電流

典型應用

  • 基本壓力監視和控制,在蒸發和濺射鍍膜應用中從大氣壓到高真空。
  • 一般真空測量 – 工業爐、建筑玻璃、半導體、冰箱和空調。
  • 分析和研發應用 – 質譜分析、電子顯微鏡、醫療、眼科、光學和高能物理。

新聞

新一代冷陰極/冷陰極-皮拉尼組合真空計現在開放訂購!

規格

類型 MAG50x MPG50x
測量系統 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
測量范圍(空氣、氮氣) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
準確度 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 30 30
1×10-2 … 100 毫巴 % of reading - 15
100 … 1000 毫巴 % of reading - 50
可重復性 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % of reading 5 -
1×10-8 … 100 毫巴 % of reading - 5
安裝定位 any any
容許壓力 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <> 10 (limited to inert gases <>
容許溫度    
運行(環境) °C +5 ... +55 +5 ... +55
法蘭烘烤 (1) °C <150 <150
儲存 °C -40 ... +70 -40 ... +70
燈絲溫度 °C - 120
一年 30 天的相對濕度    
1×10-7 … 1×10-2 毫巴 % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
供電電壓    
在量規 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
波紋 V (p-p)

<1

<1

功耗 W <2 <2
待連接的保險絲 AT <1 <1
電壓范圍    
模擬輸出 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
測量范圍    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
電壓比壓力    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
錯誤信號    
錯誤信號 V

<+0.5

09.5 ... +10.5

輸出阻抗 ? 2x10 2x10
負載阻抗 k?

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

階躍響應時間    
p > 10-6 毫巴 ms

<10

<10

p = 10-8 毫巴 ms

~1

~1

量規標識 k? 100 85
狀態(針 6)    
僅皮拉尼模式 V - 0 (low)
冷陰極點燃 V +15 ... +30 -
組合皮拉尼/冷陰極模式 3) V - +15 ... +30 (high)
電氣連接    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
傳感器電纜    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
電纜長度    
50 米電纜 m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 米電纜 m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 米電纜 m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 米電纜 m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
工作電壓 kV <3.3 <3.3
工作電流高 µA <500 <500
工作電流低 µA <100 <100
曝露在真空的材料    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
內部容量 cm³ 22.8 22.8
重量    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
防護等級 IP 40 IP 40
標準    
符合CE

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

維護 none none

1) 沒有電子設備。

2)供電裝置的小電壓必須根據傳感器電纜的長度成比例增加。

3) 冷陰極點火。

零件號

MAG50x
零件號 明細
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 點火單元
351-995 起輝器
MPG50x
零件號 明細
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x 點火單元
351-995 起輝器

附件

MAG50x
零件號 明細
211-098 細目過濾中心環組件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 點火單元
MPG50x
零件號 明細
211-098 細目過濾中心環組件DN 25 ISO-KF
351-550 MxG50x 點火單元

數據表

手冊

手冊

三維步驟文件


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