好處
規格
| 類型 | FRU016-H | FRU040-N | FRU040-L | |
|---|---|---|---|---|
| 真空連接 | DN 16 CF-F | DN 40 CF-F | DN 40 CF-F | |
| 饋入裝置/密封圈 | bellow | bellow | bellow | |
| 軸連接 | mm | 4 | 8 | 12 |
| 轉矩 | ||||
| 動態 | N?m | 0.4 | 4 | 10 |
| 動態，300 °C | N?m | 0.2 | 2 | 2 |
| 靜態 | N?m | 0.2 | 3 | 5 |
| 旋轉速度 | RPM | 200 | 1000 | 500 |
| 大力矩 | RPM | - | 500 | 300 |
| 真空側軸負載 | ||||
| 徑向力 | N | 10 | 60 | 100 |
| 軸向力 | N | 5 | 20 | 30 |
| 使用壽命 | Revolutions | 1 000 000 | 2 000 000 | 1 000 000 |
| 刻度 | degree | 10 | – | – |
| 密封度 | mbar?L/s | 5 x 10-11 | 5 x 10-11 | 5 x 10-11 |
| 壓力（） | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| 運行溫度 | °C | 300 | 300 | 300 |
| 烘烤溫度 | °C | 300 | 300 | 300 |
| 暴露于規程介質的材料 | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 | 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 | 304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305 | |
| 重量 | kg | 0.3 | 1.5 | 3 |
零件號
| FRU016-H | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 214-310 | FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F |
| FRU040-N | |
| 零件號 | 明細 |
| 214-312 | FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F |
| FRU040-L | |
| 零件號 | 明細 |
| 214-314 | FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F |
數據表
三維步驟文件
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