功能
規格
| 類型 | MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | |
|---|---|---|---|---|---|
| 傳感器長度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
| 質量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | |
| 檢測器類型 | FC | EM | FC | EM | |
| 靈敏度 (FC) | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | 3E-4 amps/Torr | |
| 靈敏度 (EM) | NA | 500 amps/Torr | NA | 500 amps/Torr | |
| 小可檢測分壓 (3) | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | 2.6E-12 Torr | 1.5E-14 Torr | |
| 傳感器工作溫度(FC) | 200 °C | NA | 200 °C | NA | |
| 傳感器工作溫度(EM) | NA | 150 °C | NA | 150 °C | |
| 絲極類型選件 | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | Dual Y2O3/Ir filaments | |
| 分辨率 (1) | <1 amu=""> | <1 amu=""> | <1 amu=""> | <1 amu=""> | |
| 溫度系數 (2) | <1% per=""> | <1% per=""> | <1% per=""> | <1% per=""> | |
| 每點數據率 | 3 ms | 3 ms | 3 ms | 3 ms | |
| 零沖擊（@ 質量 2） | <100> | <100> | <100> | <100> | |
| 大工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
| 烘烤溫度 | 300 °C | 300 °C | 300 °C | 300 °C | |
| 功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 在峰高的 10％ 處
(2) 在八小時內，預熱時間為半小時；僅在FC模式下
(3) 256 毫秒停留時間
手冊
其他文件
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