產(chǎn)品介紹：P-20工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)
P-20工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)是我們一款用于工業(yè)強(qiáng)度的臺式等離子體蝕刻系統(tǒng)，和配備氧服務(wù)真空泵。 該款工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)強(qiáng)大的功能強(qiáng)、可靠的性能、經(jīng)濟(jì)適用的臺式等離子刻蝕 是專門為每天24小時、每周7天的繁忙工業(yè)領(lǐng)域客戶而制造。
P-20臺式等離子蝕刻系統(tǒng)具有三個*的等離子工作模式：
1）反應(yīng)離子蝕刻（RIE），
2）普通的等離子清洗（Plasma Cleaning）和等離子體刻蝕（Plasma Etching）
3）P-10具有多功能等離子工藝配置，一臺具備各向異性（anisotropic）和各向同性（isotropic ）等離子刻蝕處理的系統(tǒng)。 并且配有可拆卸的托盤設(shè)置。
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng) 縱覽
全鋁合金材質(zhì)真空艙可以容納超過3200平方厘米的處理表面，采用工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)進(jìn)行表面改性增加絕大部分材料表面的粘結(jié)強(qiáng)度和清潔度。
小規(guī)模生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實驗室、檢測中心和大學(xué)是該款臺式等離子刻蝕系統(tǒng)的主要用戶。臺式等離子刻蝕系統(tǒng)的行業(yè)用戶包括生物醫(yī)學(xué)，牙科，電子，輕工，醫(yī)藥，塑料，光學(xué)，太陽能電池的邊緣隔離蝕刻，太陽能電池板等。
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)特點
采用工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)而非化學(xué)試劑槽消除不必要且昂貴的化學(xué)試劑廢物排放。簡單易用，直觀的觸摸屏界面提供等離子操作界面，控制等離子刻蝕的各個方面，確保等離子工藝的重復(fù)性。
我們可以定制工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)的真空艙和電極配置，以適合您的產(chǎn)品或過程，包括自定義尺寸的水平電極，RIE（反應(yīng)離子刻蝕）和半導(dǎo)體引線框架料盒。
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)規(guī)格
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)特點
真空艙體材質(zhì)：鋁合金
電極設(shè)置：3套規(guī)格為 33cm X 41cm 電極，每套電極板間隔7.6cm
射頻電源：300瓦@13.56MHz射頻電源;自動匹配器網(wǎng)絡(luò)
工藝氣體控制：單套200 SCCM質(zhì)量流量控制器 （MFC）
真空監(jiān)測系統(tǒng)：皮拉尼真空計0-1托
控制器系統(tǒng)：微處理器系統(tǒng)，配備觸摸屏界面
工藝程序存儲功能：可存儲多達(dá)20個雙步驟程序
真空泵浦系統(tǒng)：29CFM氧氣服務(wù)真空泵系統(tǒng)，配備3微米真空泵油濾芯
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)可選配置
靜電屏蔽；
等離子工藝溫度控制；
600瓦@13.56MHz射頻電源;自動匹配器網(wǎng)絡(luò)；
59 CFM氧氣服務(wù)真空泵系統(tǒng)；
自動兩點氮氣吹掃系統(tǒng)，延長真空泵使用壽命；
信號燈塔、 MKS自動真空節(jié)氣門控制器
另外2套質(zhì)量流量控制器（共3套）
軟件可選5路工藝氣體輸入切換矩陣控制
可控N2（氮氣）真空艙吹掃流量
真空泵排氣口配備油霧凝聚式過濾器；
定制真空艙尺寸和配置
定制電極的大小和配置
RIE（反應(yīng)離子刻蝕電極）配置
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)其它可選配置
填充床煙氣洗滌器
壓縮空氣干燥機(jī)，用于真空泵吹掃供氣
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)規(guī)格
電源：220 VAC/1/50Hz，30A
系統(tǒng)重量（工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)/真空泵）160/85公斤
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)外部尺寸：92cm X 92cm X 81cm
真空泵外部尺寸：41cm X 81cm X 51cm
工業(yè)用臺式等離子刻蝕系統(tǒng)設(shè)備外部安裝要求
電源：380/3/50 Hz
壓縮空氣：0.55~0.70 MPa，14升/分鐘
工藝氣體壓力：0.1~0.2MPa,
系統(tǒng)環(huán)境溫度：29攝氏度
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極科有限公司
（材料科學(xué)部）
