濺射蒸發一體機,用于形貌觀察前在不導電樣品（如高分子材料、無機非金屬材料等）表面噴鍍上一層金膜（鉑，銀，鈀等）或者薄碳層，減少因電子束在樣品表面的積聚而產生的荷電效應，使得形貌觀察更容易，提高成像質量。可以用于制作電極觀察導電特性。參數：2儀器尺寸 ：主機 300mm×360mm×380mm（W×D×H）蒸鍍 300mm×360mm×160mm（W×D×H）2真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）2靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）2濺射靶材：Au2濺射靶材大?。害?0mm2樣品臺：50mm (D)2濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調2濺射電流：0-50mA2濺射定時：0-360S2蒸碳電流 0-100A(AC)2蒸發材料：碳纖維 2蒸發工作電壓：0-30V2蒸發時間：0-1S2微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管2可通入氣體： 多種2真空泵： 2升機械旋轉泵（國產VRD-8）

   SD-900C 型離子濺射儀外觀亮麗做工精致，是北京博遠微納科技有限公司針對SEM用戶研制生產的一款既能濺射金、銀、鉑又能蒸發碳膜的一機多用設備。

此款機器具有小巧方便操作簡單成膜效果好之優點，可以滿足廣大SEM用戶隨時樣品制備的需要。
   工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及選擇所需的電離氣體，獲得鍍膜效果。
   配有高位定性的真空泵.
特點：

1、簡單、經濟、可靠、外觀精美。

2、可調節濺射電流和真空室壓強以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預先設置好壓強和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。

4、真空保護可避免真空過低造成設備短路。

5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀等），以達到更細顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達到更純凈的涂層。

7、獨立的濺射、蒸發上蓋和玻璃腔體防止交叉污染。

8、一體機更加經濟實惠。

9、碳纖維繩更加細膩均勻、快速，更有利于分析材料結構。

10、濺射蒸發功能轉換方便快捷。




電子束敏感的樣品:
主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用，防止此類損傷； 
非導電的樣品:
由于樣品不導電，其表面帶有“電子陷阱”，這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應，可在樣品表面鍍一層金屬導電層，鍍層作為一個導電通道，將充電電子從材料表面轉移走，消除荷電效應。在掃描電鏡成像時，濺射材料增加信噪比，從而獲得更好的成像質量。 
新材料:
非導電材料實驗電極制作觀察導電特性。

一般來說，用于掃描樣品時金屬的厚度為100-300?,采用經驗法測定厚度，可由下面的公式得到

d = KIVT

其中： d：是鍍膜厚度(單位?)

K：是常數，取決于濺射金屬和所充氣體(采用金靶和氬氣時K為0.17，金靶和空氣K為0.07)，此時靶與樣品之間的距離

I： 是等離子流(單位mA)

V：是所施電壓(單位kv)

T“”是時間(單位s)。

例如采用金靶和氬氣，l為8mA,T為100秒，V為1KV

則, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136?

即每秒1.36?

濺射速度依賴于濺射系統本身的清潔程度，因此保護工作室的清潔十分重要。

其它金屬靶的濺射速度，例如鉑靶大約是金靶一半的速度，金一鉑靶則具有與金靶非常接近的濺射速度。