LGR大氣環境在線監測系統適用于工業園區、廠界環境、大氣環境中的有毒氣體和痕量氣體的監測。
LGR特征污染因子分析儀用于監測H2S，NH 3，HCl，HF，HCN等特征污染因子。并可實現ppb級別精度的測量。即使在復雜的過程流中，分析儀也能在很寬的摩爾分數范圍內快速報告測量結果（干式和濕式）。
LGR分析儀利用LGR獲得第四代腔增強吸收技術—離軸積分腔輸出光譜技術（OA-ICOS）。較之傳統的腔衰蕩光譜（CRDS）技術，離軸ICOS具備諸多優勢：對校準不敏感、測量時間大大縮短，以及不需要昂貴的復雜元件等。
特點及優勢
? 高分辨率吸收光譜，并實時顯示光譜圖。
? OA-ICOS的波長范圍寬，覆蓋從紫外到中紅外波段。
? 一個腔體可以提供多達2個激光器用于多組分分析。
? 反應速度快，實現毫秒級或更短的相應時間。
? 性能優異，測量精度可達ppb級別；
? 通過互聯網可對儀器進行遠程控制
? 動態范圍更廣OA-ICOS直接測量吸收光譜，而非僅測量光腔衰蕩時間。相比傳統CRDS技術，OA-ICOS在明顯更廣的動態范圍內呈現線性響應（即針對某些氣體摩爾分數達*）。
? 更簡單的維護，鏡片清理不需要專業的工具和實驗室，不需要校準光路，現場維護<20分鐘。
技 術 參 數 | ||
H2S與NH3分析儀 （H2S、NH3、CO2、H2O） | ||
NH3 | H2S | |
測量范圍 （3?，100秒） | 0~10000 ppb | 0~500 ppm |
工作范圍 | 0-200 ppm | 0-1000 ppm |
可重復性 /精度（1?） | <2 ppb（1s）， <0.9 ppb（10s） <0.3 ppb（100s） | <25 ppb（1s）， <10 ppb（10s）， <5 ppb（100s） |
響應時間 | 3秒（帶外部N920真空泵） | |
HCl/HF分析儀 （HCl、HF、H2O） | ||
HCl | HF | |
測量范圍（3?，100秒） | 0~2000 ppb | 0~2000 ppb |
工作范圍 | 0-10 ppm | 0-10 ppm |
可重復性/精度（1?） | <0.4 ppb（1s）， <0.25 ppb（10s）， <0.1 ppb (100s | <0.1 ppb（1s）， <0.07 ppb（10s）， <0.05 ppb（100s） |
響應時間 | 2秒（帶外部N920真空泵） | |
輸出端口 | 輸出端口： 數字（RS232）、模擬、以太網、USB | |
數據存儲 | 內部硬盤（可選固態硬盤） | |
環境濕度 | 0~* | |
工作溫度 | 0~ 50 °C | |
出入口接頭 | ?英寸、?英寸和?英寸SWAGELOK® | |
電源要求 | 115/230 VAC，50/60 Hz | |
重量： | 29千克（標準型）/40千克（增強型） | |
應用范圍
? 探測泄漏以保護個人安全
? 監控空氣中污染物
? 監視前開式標準晶圓盒(FOUP)和氣相沉積容器
? 監管兼容的 HCI 排放和煙氣監控
美國ABB/LGR
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