小型金離子濺射儀,掃描電子顯微鏡,樣品制備設備
金離子濺射儀ETD-200小型 特點:
靶(上部電極):材料:金,
直徑:64mm,厚度:0.12mm(大約)
真空室:直徑:160mm,高:120mm
樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:64mm,zui大放置樣品數量:16個
離子電流表:zui大電流:100mA
定時器:zui長時間:900S
zui高電壓: -1600V
電源開關
機械泵: 2升/每秒
可選:真空控制針閥
靶材可按用戶要求加工制作
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