KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全。配備7寸觸摸屏人工界面,具有電流時間工藝儲存功能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及自動電動樣品擋板功能。
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀
KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全。配備7寸觸摸屏人工界面,具有電流時間工藝儲存功能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及自動電動樣品擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬(金,銀,銅,鉻,鎳等)和有機物進行均勻蒸發沉積。真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀
三:主要技術要求
1. 控制方式:7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
2. 加熱方式:數字式功率調整器
3. 鍍膜功能:0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
4. 功率:≤1200W
5. 輸出電壓電流:電壓≤12V 電流≤120A
6. 真空度:機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa
7. 擋板類型:電控
8. 真空腔室:石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
9. 樣品臺:可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)
10. 樣品臺轉速:8轉/分鐘
11. 樣品蒸發源調節距離:70-140mm
12. 蒸發溫度調節:≤1800℃
13. 支持蒸發坩堝類型: 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 陶瓷坩堝 石英石坩堝
14. 預留真空接口:KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀
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