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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

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KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全。配備7寸觸摸屏人工界面,具有電流時間工藝儲存功能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及自動電動樣品擋板功能。
鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發鍍膜儀,儀器雖小功能齊全。配備7寸觸摸屏人工界面,具有電流時間工藝儲存功能。配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及自動電動樣品擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率,可對大部分金屬(金,銀,銅,鉻,鎳等)和有機物進行均勻蒸發沉積。真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

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鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀

三:主要技術要求

1.    控制方式:7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

2.    加熱方式:數字式功率調整器

3.    鍍膜功能:0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

4.    功率:≤1200W

5.    輸出電壓電流:電壓≤12V  電流≤120A

6.    真空度:機械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

7.    擋板類型:電控

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8.    真空腔室:石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

9.    樣品臺:可旋轉φ62  可安裝φ50基底)

10.  樣品臺轉速:8/分鐘

11.  樣品蒸發源調節距離:70-140mm

12.  蒸發溫度調節:≤1800

13.  支持蒸發坩堝類型: 鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  陶瓷坩堝   石英石坩堝

14.  預留真空接口:KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口  6mm卡套進氣口

鄭科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸鍍儀


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