HOOL L61200A 300mm通用組合水平式檢測干涉儀
參考價 | ¥ 1 |
訂貨量 | ≥1 臺 |
- 公司名稱 冠乾科技(上海)有限公司
- 品牌
- 型號 HOOLL61200A
- 所在地 上海
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2023/1/6 19:13:25
- 訪問次數(shù) 743
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300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設計,結(jié)構(gòu)簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數(shù)字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。不僅實現(xiàn)了干涉測量技術(shù)從小口徑到大口徑的更新拓展,而且填了國內(nèi)制造業(yè)和國家質(zhì)檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。
(1)應用領(lǐng)域
●光學平面計量
●半導體晶圓
●半導體掩膜版基板
●同步輻射
●光刻機光學元件
●航空航天折返成像系統(tǒng)
●空間光學器件
●強激光平板玻璃測量等
實現(xiàn)大口徑光學表面面形、透射波前、光學均勻性等參數(shù)的檢測。
(2)產(chǎn)品綜述
300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設計,結(jié)構(gòu)簡單、在適用于多種被測樣品的前提下,使用數(shù)字化相移分析方法實現(xiàn)高精度、多功能的檢測。
慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實現(xiàn)了干涉測量技術(shù)從小口徑到大口徑的更新拓展,而且填了國內(nèi)制造業(yè)和國家質(zhì)檢部]對高精度平面檢測設備需求的空白。
(3)參數(shù)性能
測量原理: | 斐索干涉原理 |
光源波長: | 632.8nm(穩(wěn)頻氦氖激光器)/633nm(波長調(diào)諧激光器) |
樣品準直: | 雙光點對準,對準角±3度 |
電源: | AC 220V 50HZ |
操作系統(tǒng): | Windows系統(tǒng),銀河麒麟操作系統(tǒng) |
CCD分辨率: | 1024*1024像素 2048*2048像素 |
軟件: | HL 數(shù)字化相移分析軟件 |
精密度: | ≤入/600 |
PV測量重復性: | ≤入/600 |
RMS測量重復性: | ≤入/8000 |
RMS波前重復性: | ≤入/1800 |
透射平面鏡精度: | A/20 PV |
◆材質(zhì)均勻性
◆超精密平面/球面面形測量
◆光學系統(tǒng)裝調(diào)和校準
◆光學組件透射波前測量
◆光學均勻性測量
◆平行度測量
◆角錐角度測量
◎◎我們會傾聽您的需求,支持特殊需求定制
部分客戶群體:蘇州計量院,上海計量院,福建計量院,上海光機所,石家莊13所,上海現(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司UPEC,長春理工,上海理工等。
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