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Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀

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Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀融合了高級表征、可定制選項和易用性,可以提供快速、準確和可重復的非接觸式三維表面計量方法。它的操作和分析軟件系統提供了更易于使用的界面和簡潔的功能,可以訪問多種預編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半導體,眼科,醫療設備,MEMS和摩擦學等領域的測量分析。

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Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀

Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀融合了高級表征、可定制選項和易用性,可以提供快速、準確和可重復的非接觸式三維表面計量方法。

它的操作和分析軟件系統提供了更易于使用的界面和簡潔的功能,可以訪問多種預編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半導體,眼科,醫療設備,MEMS和摩擦學等領域的測量分析。

Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀滿足計量要求,具有很好的Z軸分辨率和準確性,并在更小的占地面積內提供了布魯克白光干涉儀(WLl)落地式型號所具備的業界認可的優點。它對反射率從0.05%到100  %的各種表面都非常易于測量。

Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀擁有三款型號,分別是GT100、GT200、GT500,它們的技術參數如下:

Contour 高精度三維形貌計量光學輪廓儀

型號GT100GT200GT500
圖片GT100.jpgGT200.jpgGT500.jpg
樣品臺區別

手動樣品臺

1.png

自動樣品臺

2.png

高級自動化樣品臺

3.png

技術參數

掃描量程:≤10mm

垂直分辨率:<0.01nm

水平分辨率:0.38μm min(Sparrow criterion),0.13μm(with AcuityXR)

臺階高度準確性:<0.75%

臺階高度重復性:<0.1% 1 sigma repeatability

掃描速度:37μm/sec(with standard camera)

樣品傾角:≤40°(shiny surfaces),≤87°(rough surfaces)

樣品高度:≤100mm(4 in.)



冠乾科技(上海)有限公司

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