世界上等精度及強大功能Park原子力顯微鏡產品特性
Park XE15具備多個特殊功能，是共享實驗室處理各類樣品、研究員進行多變量實驗、失效分析師研究晶片等的。合理的價格搭配強健的性能設置，使其成為業內性價比*高的大型樣品原子力顯微鏡。
MultiSample™（多重采樣TM）掃描器帶來*便捷樣品測量
多樣品一次性自動成像
特殊設計的多樣品夾頭，*多可承載16個獨立樣品
全自動XY樣品載臺，行程范圍達200 mm x 200 mm。
無軸間耦合提高掃描精度
兩種獨立閉環XY和Z平板式掃描
平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm，且殘余壓彎小
整個掃描范圍內的異面移動小于2nm
強力掃描器達25μm Z掃描范圍
**的高度測量
Non-Contact™（真正非接觸TM）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度
其Z掃描頻寬是壓電管基礎系統的10倍
非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命
成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
降低樣品干擾，提高掃描精度
提供*佳用戶體驗
開放式側面接入，提高樣品及針尖更換效率
預對準的針尖安裝和有一無二的軸上俯視法可簡單直觀地實現激光對準
燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
界面帶自動設置功能，方便用戶使用
多種模式與選項
綜合性測量模式及特性設置，是我司*佳通用型原子力顯微鏡
多種可選配件及更新，擴展性能*
為缺陷分析提供*電氣測量
產品特點
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導向掃描器
XY掃描器含系統二維彎曲及強力壓電堆疊，可使極小平面外移動形成較大的正交運動，并能快速響應，實現**的樣品納米級掃描。
柔性導向強力Z掃描器
在強力壓電堆疊的驅動及彎曲結構的引導下，其硬度允許掃描器高速豎直運動，較傳統原子力顯微鏡掃描器更加高速。*大Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm。
滑動連接的超亮二極管頭
通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發光二極管頭可實現高反射表面的**成像和力-矩光譜的**測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產品。
多樣品夾頭
特殊設計的多樣品夾頭，做多可承載16個獨立樣品，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設計為接觸樣品針尖預留了邊通道。
選配編碼器的XY自動樣品載臺
自動集成XY載臺可輕松并**控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的**度和重復性。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm，重復率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm，重復率為1 μm。
高分辨率數碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。
垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺
Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的，因此滿足透明樣品及液態元件應用所需精度。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品，同時Z掃描器豎直移動探針。
此配置以*小異面移動，實現了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性。
業內*低本底噪聲
為探測*小樣品的特性，幫助*快運動平面成像，Park Systems設計了業內0.5A以下的*低本底噪聲標準設備。使用“零掃描”探測本地噪聲數據。
真正非接觸模式延長針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配磚利強力Z掃描系統的真正非接觸模式。真正非接觸模式下，使用的是相吸而非相排斥的內部原子力。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距，改善了原子力顯微鏡圖像，保持針尖的銳利，因此有效延長了針尖使用壽命。
預對準懸臂支撐
預先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴格對齊激光束。
高分辨率的直接同軸光學元件
用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標區域。高分辨率數碼攝像頭具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設計，配備高速處理單元，可成功實現真正非接觸™模式，是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇。
- 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設計，適合電壓電流精準測量
-通用系統，各SPM技術均可得到應用
- 外部信號接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- *多16個數據成像
- *大數據尺寸：4096 x 4096像素
- 16位ADC/DAC，速度達500 kHz
- TCP/IP連接，隔離計算機接出電噪
