S-9320振鏡掃描振鏡是新一代系列中速度的產品之一。 與TSH9系列產品相比，S-9xxx具有更高的速度、更高的扭矩和更低的漂移參數。 S-9320 支持 15mm 和 20mm 孔徑。該掃描振鏡可與驅動板結合構建單軸系統。 目前桑尼科技提供兩種驅動板：SD-1000 和 SD-2000。
| 型號 | S-9320 |
| 輸入光斑直徑( mm) | 15,20 |
| 掃描角度 | ±12.5° |
| 小信號階躍響應時間（1）（ms） | 0.4 |
| 轉動慣量, g*cm2 ,±10% | 0.22 |
| 力矩常量 dyne·cm/amp,±10% | 1.9 |
| 平均工作電流(A/單軸) | 1.9*105 |
| 峰值電流(A) | 4 |
| 零點漂移(μRad./℃) | 20 |
| 比例漂移( ppm/℃) | <15 |
| 線性度（2） | <50 |
| 重復精度（μRad.） | ≥99.90% |
| 長時間連續工作漂移，8小時以上( mrad.) | <8 |
| 工作環境溫度 | <0.5 |
| 重量（不含電纜線）（g） | 25℃±10℃ |
| - 所有角度均為機械角。 | 235 |
| - 所有參數為上電1分鐘以后測得。 | |
| （1）配該型號電機所能帶載的最小Y軸鏡片，響應至滿幅度的1%； | |
| （2）指在±20°光學角范圍內的線性度； | |
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