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高分辨率激光干涉儀

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高分辨率激光便攜式、高分辨率、高動(dòng)態(tài)范圍激光干涉儀!超分辨剪切干涉儀(High-resolution)是一款便攜式、高靈敏度、高精度的

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高分辨率激光


便攜式、高分辨率、高動(dòng)態(tài)范圍激光干涉儀!


超分辨剪切干涉儀(High-resolution )是一款便攜式、高靈敏度、高精度的。超分辨剪切干涉儀基于分析的四波剪切干涉技術(shù),與傳統(tǒng)干涉儀相比較具有結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便,無需標(biāo)準(zhǔn)件,檢測穩(wěn)定性,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點(diǎn)),3D顯示等優(yōu)點(diǎn)。


關(guān)鍵詞:干涉儀、激光干涉儀、球面干涉儀、激光平面干涉儀、干涉光刻、傳函儀、白光干涉儀、Zygo、波前分析儀、、邁克爾遜干涉儀、便攜式干涉儀、光學(xué)傳函儀


超分辨激光干涉儀基于便攜式、高靈敏度、高精度波前分析儀。該激光干涉儀采用四波剪切干涉技術(shù),與傳統(tǒng)干涉儀相比較具有結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便,無需標(biāo)準(zhǔn)件,檢測穩(wěn)定性,直接測量任意的波前、高分辨率(300x400采樣點(diǎn))、激光波長覆蓋400-1100nm、消色差、高動(dòng)態(tài)范圍(500um)等優(yōu)點(diǎn)。

 

超分辨剪切干涉儀可用于激光波前檢測、激光強(qiáng)度檢測、等離子體密度檢測、透鏡檢測、高功率激光、檢測、精密光學(xué)元器件檢測、光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)、鏡頭模組檢測、傳遞函數(shù))檢測等。法國公司超分辨剪切干涉儀并可實(shí)時(shí)檢測為客戶提供優(yōu)化的數(shù)據(jù)支持。


產(chǎn)品特點(diǎn):

1、直接測量、無需標(biāo)準(zhǔn)件



圖一、檢測光路



2、高靈敏度(是普通白光干涉儀的8.4倍)、對振動(dòng)不敏感


圖二 與傳統(tǒng)的干涉儀檢測結(jié)果對比


3、三維立體顯示


圖三、波前三維檢測視圖


4、實(shí)時(shí)顯示澤尼克系數(shù)


圖四、多階澤尼克顯示界面


5、傳遞函數(shù)(MTF)檢測


圖五、傳遞函數(shù)檢測界面


干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:


? 激光光束性能、波前畸變、M^2、強(qiáng)度等的檢測

? 紅外透鏡檢測

? 激光、、顯微、眼科等復(fù)雜系統(tǒng)波前像差檢測

? 光刻機(jī)物鏡檢測

? 大口徑高精度光學(xué)元器件檢測

? 透鏡、鏡頭模組檢測

? 傳遞函數(shù)測量

? 等離子體密度檢測

? 高功率激光自適應(yīng)




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