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大負(fù)載桌腿型、主動(dòng)氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)（MAPS series）

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產(chǎn)品介紹視頻產(chǎn)品簡(jiǎn)介明立精機(jī)的MAPS系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動(dòng)器而構(gòu)成的組裝型除振裝置

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產(chǎn)品介紹視頻


產(chǎn)品簡(jiǎn)介

明立精機(jī)的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動(dòng)器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個(gè)的話(huà)，對(duì)應(yīng)全自由度的振動(dòng)，能發(fā)揮出除振性能、制振性能、定位性能等。






產(chǎn)品特點(diǎn)

  1. MAPS 可以消除被動(dòng)除振的困難頻段的振動(dòng)

  2. 標(biāo)準(zhǔn)的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

  3. 搭載工件等移動(dòng)裝置也不會(huì)搖擺

  4. MAPS 具有精確定位及精密校平性能

  5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

  6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個(gè)重要部分


應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造，等


主要規(guī)格和參數(shù)表


附注



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