M-cat磁場均勻性檢測系統昊量光電推出M-cat磁場均勻性檢測系統，可以快速精準的對濺射系統磁控管和磁棒的測量質量精準控制

M-cat磁場均勻性檢測系統

昊量光電推出M-cat磁場均勻性檢測系統，可以快速精準的對濺射系統磁控管和磁棒的測量質量精準控制。旋轉磁控管和可調磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高層厚的均勻性并且可以避免濺射。

M-cat磁場均勻性檢測系統主要介紹：

在玻璃或硅上濺射需要高質量標準。即使沉積層厚度的微小波動也會顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結構的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會發生某些變化。作為太陽能電池生產基礎的玻璃涂層厚度的變化會導致電性能的不對稱。

濺射氣體的分壓或磁場可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會影響層的成分，因此對于層厚度的調整，僅可以應用磁場的控制和修改。

M-cat磁場均勻性檢測系統以高精度表征管狀磁控管，使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體配置進行精確測量和分析外，M-cat磁場均勻性檢測系統還為可調節磁控管提供幫助，為確保高可靠性，確定了磁控管的幾何形狀（)。

使用M-cat磁場均勻性檢測系統可以增加：

• 過程可靠性，因為可以對新磁控管進行進貨檢驗，并且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管。

• 層厚度的均勻性，因為可以以可控方式設置可調磁控管，或者可以更容易地組合合適的磁控管。

• 靶材的使用壽命，因為可以避免成本密集型靶材的濺射。

M-cat磁場均勻性檢測系統突出亮點：

• 獲取完整的磁場輪廓

• 可提供用于圓形陰極和扁平陰極磁控管的系統

• 可以在現有的制造過程中實施該系統

• 可微調磁控管微調輔助功能

• 高可用性

  
  

MHLS-線性霍爾傳感器主要技術指標：

• 在 1 分鐘內完成測量

• 場過程的圖形表示

• 檢測蕞小和蕞大磁場強度

• 以 CSV 格式存儲和導出單個測量系列的功能

• 可以記錄目標參數（直徑、偏轉）

• 微調可微調磁控管的輔助功能

•  長度為 0.4 - 4.0m

•  磁場配置：33 個通道（X、Y、Z）+/- 1%

• 磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- 0.1mm

• 目標的幾何形狀（直徑、偏轉）：+/- 0.1mm

•  具有生命周期管理、各種視圖和設置選項的軟件

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