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DX-7系列晶棒及晶片角度測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:DX-7系晶棒及晶片角度測(cè)量?jī)x是雙側(cè)工作臺(tái),可同時(shí)進(jìn)行操作,用于對(duì)晶棒及晶片的角度進(jìn)行測(cè)量。

 

DX-7系列晶棒晶片角度測(cè)量?jī)x參數(shù)對(duì)比表

 

型 號(hào)

DX-7B

DX-7BG

主要特點(diǎn)

設(shè)備構(gòu)造:設(shè)備分為落地式一體機(jī)。

外型尺寸:1132(長(zhǎng))×642(寬)×1200(高)mm。

 

樣式1

樣式2

樣式3

功能

可測(cè)量晶棒的端面和柱,也可以測(cè)量晶片。

帶有六方型刻度貼片板,可測(cè)量晶片端面

可測(cè)量晶片參考邊

被測(cè)晶體尺寸

2-6寸晶棒、長(zhǎng)度L≤320mm2-6寸晶片。

2-6寸晶棒、長(zhǎng)度L≤100mm2-6寸晶片。

2-6寸晶片。

工作臺(tái)圖片

配套夾具

①V型夾具(測(cè)量晶棒端面時(shí)使用)

②底板(測(cè)量有參考面的晶棒端面時(shí)使用)

無(wú)需夾具

無(wú)需夾具

工作臺(tái):以上是常見(jiàn)工作臺(tái),可根據(jù)客戶需要,任選以上2種樣品臺(tái)進(jìn)行組合,也可以雙側(cè)一樣,還可以根據(jù)被測(cè)的晶體尺寸,及晶體被測(cè)方位來(lái)特殊設(shè)計(jì)。

 

設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″

以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測(cè)量

設(shè)備綜合精度為±15

以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測(cè)量

最小讀數(shù)

10″

儀器配置

DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機(jī)臺(tái)、管套及各種機(jī)械附件組成的機(jī)械部分;由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計(jì)數(shù)器、風(fēng)冷電機(jī)、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。

技術(shù)指標(biāo)

(1)X射線發(fā)生器部分:

     X射線管:銅靶,風(fēng)扇冷卻,陽(yáng)極接地。

 管電壓:30KVP,全壓合閘。

 管電流:0—5mA 連續(xù)可調(diào),使用2.0mA以上,有可能損壞X光管并加大輻射危害。

(2)輸入電源:?jiǎn)蜗嘟涣?20V,50Hz,整機(jī)總耗電功率不大于0.3 KW 。

(3)角度測(cè)量范圍:

     2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為104/秒

計(jì)數(shù)管計(jì)數(shù)率為108/秒

(是普通系列的1萬(wàn)倍)

接收器壽命

1年

3年以上

X光管壽命

按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)400小時(shí)

(X光管可以使用3-4個(gè)月)

是正常使用狀況下的2-3倍

(X光管至少可以使用一年)

X管電流強(qiáng)度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測(cè)量和使用效果

X光管使用2-3個(gè)月有可能出現(xiàn)多個(gè)假峰,影響準(zhǔn)確度。需要經(jīng)常更換X光管,影響生產(chǎn)效率。

可以濾掉X光管的雜峰,不存在假峰現(xiàn)象。X光管可以使用1年左右,不需要頻繁調(diào)整機(jī)器。

精度

精度±30秒(±0.008度)

精度±15秒(或±0.004度)

輻射

測(cè)量時(shí)使用 mA量越來(lái)越大,射線輻射量較大。

測(cè)量時(shí)使用 mA量小,射線輻射量較小。


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