產品簡介：PCE-22紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達150℃。此款設備可用于清洗各種基片，為制作高質量的薄膜打好基礎。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧，254nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。
| 產品型號 | PCE-22紫外臭氧清洗機 | |
| 主要特點 | 1、僅室內使用; 海拔高度5500英尺以內; 2、溫度范圍：5-40℃; 3、相對濕度80％，30.5℃，40℃線性降至50％相對濕度; 4、主電源波動不超過額定電壓的10％; 5、污染等級2; 臭氧水平（環境）測量<45 ppb。 6、去除分子級別的污染物 7、紫外光固化粘合劑 8、紫外光催化 9、氧化PDMS 10、表面消毒 11、刻蝕 12、清洗MEMS 器件 13、清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片 | |
| 技術參數 | 1、功率：350W 2、AC 208~240V，單相 50/60Hz | |
| 腔體&樣品臺 1、不銹鋼殼體 2、抽屜式樣品臺，以便放樣取樣 3、樣品臺面積310 mm x 320 mm 4、臭氧通風裝置安裝在腔體上 5、樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調） 6、樣品臺可以加熱，溫度可達150℃ 7、可設置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 8、設備運行時間：0.01 秒- 99.9小時 | | |
| 排氣口 1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 2、請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外 3、儀器中不包含橡膠管 | | |
| 紫外燈 1、可發出雙波長的水銀燈 2、功率：55W 3、發出光的波長：254 nm 和 185 nm 4、使用壽命：2500 小時（可更換） 5、照射區域：200 x 200 mm 6、可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。 | | |
| 產品規格 | 1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2、重量：28kg | |
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