KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器， iMicro高精度微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。
? 快速精準的動態納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速精準的位移測量
? 超高框架剛度
? 熱漂移 <0.05nm/s
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