NanoFocus μsurf custom光學(xué)輪廓儀(三維共聚焦表面測(cè)量系統(tǒng)/3D顯微鏡)
品牌:德國NanoFocus
型號(hào):μsurf custom
μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測(cè)物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。
NanoFocus μsurf custom三維共聚焦表面測(cè)量系統(tǒng),可以根據(jù)客戶的具體需求進(jìn)行樣品平臺(tái)和軟件的定制,功能齊全,可以自動(dòng)測(cè)量,能精確捕捉樣品的三維結(jié)構(gòu)和微納米尺度的復(fù)雜幾何形狀,并擁有超高光學(xué)分辨率和zui全面廣泛的三維表面形貌分析處理能力。該機(jī)臺(tái)還配備了整合計(jì)算機(jī)和測(cè)量系統(tǒng)的工作臺(tái),可以將一些測(cè)試報(bào)告等資料放在工作臺(tái)的抽屜里,便捷可靠。
μsurf系列用來測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
- 精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件,比如發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸、刀口等;
- 生命科學(xué):測(cè)量stents支架上鍍層厚度等
- 微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測(cè),醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測(cè),如基因芯片等
- 半導(dǎo)體:檢測(cè)微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
- 太陽能:太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測(cè)量,制絨后3D形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
- 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量
- LED:用于藍(lán)寶石襯底的測(cè)量,抽檢PSS ICP后的WAFER的3D形貌
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測(cè)量時(shí)間:2~10秒
測(cè)量原理:非接觸、共聚焦
X/Y方向:平臺(tái)移動(dòng)范圍:100mmX100mm/200mmX200mm/300mmX300mm(大小可選),馬達(dá)驅(qū)動(dòng),X/Y方向分辨率:0.3μm
Z方向測(cè)量范圍:350μm,Z方向分辨率:< 1nm
物鏡:10X、20X、50X、100X(可選)
離軸攝像頭(10X),zui大視野8 x 6 mm2(選配)
計(jì)算機(jī):高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),功能強(qiáng)大且全面的軟件,有拼接功能
配有專業(yè)工作臺(tái):尺寸1550x800x750 mm (LxH)
工作電源:100-240V, 50-60Hz,input: 550 VA
材質(zhì):鋼鐵、橡膠、大理石
重量:約150KG+80KG
潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
設(shè)備咨詢:
Ronnie Chen +86- +86-21-61533166 ronniechen@nanofocus.com.cn