liteScope™

LiteScope™是一種的掃描探針顯微鏡（SPM）。 它設計用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。 組合互補的SPM和SEM技術使其能夠利用兩者的優勢。使用LiteScope™及其可更換探針系列，可以輕松進行復雜的樣品分析，包括表面形貌，機械性能，電性能，化學成分，磁性能等的表征。LiteScope™的設計還使其可以與其他SEM配件結合使用聚焦離子束（FIB）或氣體注入系統（GIS）用于制造納米/微結構和表面改性。在這種組合中，LiteScope™可對制造的結構進行快速簡便的3D檢測。此外，LiteScope™開辟了一個全新的測量技術領域，可實現相關顯微鏡，即所謂的相關探針和電子顯微鏡（CPEM）。 CPEM技術是市場上的技術。 它可以在同一個地方進行SPM和SEM測量，同時，使用相同的協調系統。 只有CPEM技術才能為您帶來SPM和SEM技術相關成像的全部優勢。

特點

? LiteScope™可提高性能的SEM升級

• 可作為現有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用

• 的相關探針和電子顯微鏡（CPEM）技術

• 復雜的表面表征- 形貌，粗糙度，磁性，導電性，電性能

• 自感應探頭，無需光學檢測，無需激光調整
  

• LiteScope™易于安裝到SEM的樣品臺上/從樣品臺中取出

• 兼容FIB，GIS，EDX等配件

• 在傾斜位置（角度0°-60°），最小工作距離5毫米

• 可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間

• 市售探針，種類繁多測量模式

• 快速簡便地更換探頭和樣本

• 用戶友好的軟件，在網絡瀏覽器中操作，輕松遠程訪問

• LiteScope™也可作為獨立的SPM使用

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• 相關探針和電子顯微鏡 - CPEM

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LiteScope™是現有SEM儀器工作方式的強大增強功能。 但是，還有更多的內容。相關顯微鏡結合了使用兩種不同技術對同一物體成像的好處。來自單獨圖像的數據的相關性提供了關于樣本的更詳細信息，否則這些信息將太復雜而無法分析。NenoVision開發了的技術-相關探針和電子顯微鏡（申請中）-用于相關成像。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區域的表面特征同時使用相同的協調系統。






CPEM技術能夠以迄今尚未獲得的方式對標準SEM和SPM方法進行相關成像。CPEM同步掃描區域，分辨率和圖像失真，并實時關聯采集的SPM和SEM圖像。

使用已知恒定偏移和相同分辨率的同時掃描可確保在同一表面上執行分析。可以使用我們的NenoView軟件在線直接查看生成的圖像。