C系列是奕葉入門款式探針臺,機構上可以符合基本量測需求。這為直流和射頻應用提供了可重復、良好的測量。
產品介紹 | ||||
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產品簡介 | C系列是奕葉入門款式探針臺,機構上可以符合基本量測需求。這為直流和射頻應用提供了可重復、良好的測量。 | |||
功能特點 | -同軸驅動的探針臺 -卡盤上/下調整 -無間隙運動 -可安裝12個探針座 -蜂巢式抗震囊 | |||
應用 | 基礎IV/CV；射頻，單寬頻量測；光電學 | |||
配件 | 帶溫度控制器的熱卡盤 | 防震桌 | 屏蔽箱 | |
規格參數 | 探針臺面積 | 580 mm 寬 x 460mm 深 | ||
探針臺高度 | 450 mm (到壓板)/700 mm (到顯微鏡) | |||
探針臺重量 | 40kg | |||
平臺材料 | 硬鉻電鍍鋼 | |||
平臺尺寸 | 250 mm內部, 450mm 外部 | |||
平臺容量 | 12 DC 或 4 RF 4 DC | |||
探針座安裝 | 磁性ON/OFF開關 | |||
真空開關的數量 | 3 | |||
卡盤材料 | 不銹鋼 | |||
卡盤臺類型 | 同軸（可選配大旋鈕高精度滑臺） | |||
卡盤行程范圍 | 6” x 6” | |||
卡盤快速精度 | 25mm/rev | |||
卡盤精度 | 1 µm | |||
卡盤旋轉粗調行程 | 360? | |||
卡盤 Z向移動 | 4mm 范圍 | |||
卡盤 Z 向精度 | 1 µm | |||
同軸卡盤運動 | 斜面齒輪和齒條0.8mm間距 | |||
大旋鈕卡盤移動 | 高精度線性滑臺 | |||
卡盤大小 | 6” (150 mm) | |||
卡盤平面度 | 3 µm | |||
卡盤剛度 | 15 µm / 10 N @ 邊沿 | |||
卡盤真空槽 | 中心，1”, 3” ,5”（單獨控制） | |||
卡盤偏置容量 | 可達到 1kV | |||
卡盤隔離 | 2 G? | |||
DUT 尺寸范圍 | 2 mm - 150 mm | |||
顯微鏡變焦范圍 | 1x - 5x | |||
顯微鏡目鏡 | 20x | |||
顯微鏡放大范圍 | 20x-100x | |||
探針座選擇 | |
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探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關 | |
| EB-050 精度：0.8µm 螺絲精度：212µm 行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g 用途：支持DC/RF |
| EB-700 精度：2µm 螺絲精度：630µm 行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量：200 g 用途：僅DC |
| EB-005 精度：0.3µm 螺絲精度：125µm 行程范圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g 用途：支持DC/RF |
配件選項 | |
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 | C-6RF 射頻選件包括附加的U形卡盤以及用于接觸和校準基板，以及一個細旋轉旋鈕，以幫助將設備與探針對準。 |
 | VFT-3636 尺寸：36英寸（寬）x 36英寸（深）x 36英寸（高） 垂直固有頻率：1.5 Hz 隔離效率：@ 5 Hz 85％ 水平固有頻率：1.2 Hz隔離效率：@ 5 Hz 91％ 空氣需求量：80 psi 凈負載：200公斤 材質：鋼桌面 |
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