全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統開和發而來，采用VMM 公司先和進的設計和技術。

新款Precis 包含很多可配置選項，使設備更加的通用，耐某用以及可某靠。

擴展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm

透射照明

完整電子繪圖 – 完的符合 SEMI S2 和 CE 標準

符合人體工程學的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調節高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合

全自動顯微鏡，所有設置計算機控制

某佳分辨率像素攝像頭

VIEW Metrology Software (VMS™) 可測組件很廣泛, 可選CAD導入 以及完整的幾何尺寸和公差導入。

MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器.

標準                       可選

X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               載重:                 12 kg

XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um

Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens)

分辨率：                   0.01 微米

視場測量精度和重復性：0.01 μm (100x)

直流伺服馬達驅動