輝光放電光譜檢測方法利用低壓，通過氬離子束對樣品表面均勻濺射物質的非熱能處理技術。濺射出的物質離開樣品表面隨后被原子化并在低壓等離子放電區域被激發。

LECO GDS-900輝光放電光譜儀應用了輝光光源激發穩定性、可控性、譜線之間干擾少的優點，是一臺能夠滿足各種復雜樣品元素總量分析和表面各元素含量隨深度定量變化分析的光譜儀。

性能特點

濺射和激發的分離技術
具備寬動態范圍的線性校準曲線
更少的自吸和物質再沉淀現象
幾乎為排它的原子譜線激發
狹窄的特征光譜線及更少的干擾
更少的校準所要求的標準樣品
少量的氬氣消耗降低分析成本
每次樣品分析間隔的陽極自動清掃

應用領域

總量分析：鋼鐵，有色金屬，粉末金屬等。
定量逐層分析：熱鍍鋅,電鍍鋅,熱處理材料，碳氮共滲材料，各種涂層材料(PVD，CVD，表面離子噴涂,彩涂板凃)等。
射頻光源：非導體材料的表面金屬鍍層，導體材料的有機鍍層，以及各種非導體材料。