不用接觸就可以簡單準確地測量原生或成型硅塊的真實壽命。與半導體工業標準PV(光伏)-13相符合。
操作簡單、靈敏度高
BLS-I and BCT-400測量系統對于單晶硅或多晶硅(硅錠或硅塊)不需要進行表面鈍化就可以進行壽命測量。因為壽命測量是描述生長特征和污染缺陷靈敏度的技術,這些工具允許你評估硅生長后的質量。
性能*
非接觸方式量測真正意義上的硅塊少子壽命,符合SEMI的PV13標準;相比業界其他少子壽命測試儀BLS-I/BCT系列是性能更*的少子壽命測試儀。
多型號選擇
如果想要設備能夠測量多種的表面類型(150mm直徑到平滑的)請選BLS-1.如果是僅需要測量平滑表面,請選擇BCT-400.
BCT400/BLS-1應用
廠商品質監控常見的測量設備,擁有廣泛客戶群
?測量壽命在1-5ms(豪秒)范圍內的高純度硅
?測量沒有進行特殊表面處理的原生直拉硅
?測量多晶硅塊的壽命和俘獲濃度
?探測氧化硼缺陷,鐵污染,和表面損害
?測試直拉硅,區熔硅,多晶硅或高純冶金硅的初始原料質量
項目 | 內容 |
---|---|
測量參數 | 少子壽命、電阻率、陷阱密度 |
可測量的少子壽命范圍 | 0.1us-10ms |
可測量的電阻率范圍 | 0.5-300ohm.cm |
分析模式 | 準穩態方法少子壽命分析 瞬態方法少子壽命分析 一般方法少子壽命分析 |
可施加的用于修正陷阱的偏執光范圍 | 0-50suns |
可以測量的樣品的表面類型 | 表面為平的硅塊樣品(BCT-400) 表面不平整的硅塊樣品(BLS-I) 不平整弧度的直徑可達150mm |
光源光譜 | 白光和紅外光 |
感應器的面積 | 45cm*45cm |
可測量深度 | 3mm |
*您想獲取產品的資料:
個人信息: