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美能3D顯微鏡ME-PT3000

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ME-PT3000是一款高速共聚焦掃描顯微鏡,可用于精確可靠的3維(3D)測量。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法可實現實時共聚焦顯微圖像。專用于光伏行業對光伏電池片表面的柵線及絨面進行質量檢測的光學儀器。以光學技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對光伏電池片上的柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數量進行定量檢測,以反饋光伏電池片清洗制絨、絲網印刷工藝質量。

詳細信息 在線詢價

五大分析功能

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,粗糙度分析包括線粗糙度、I面粗糙度、平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

強大的數據處理功能

提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。

廣泛的應用領域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

高精度、高重復性

采用針孔共聚焦光學系統、高穩定性結構設計、優異的3D重建算法組成測量系統保證測量精度高

?測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能

?可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程

?結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程

?幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全

?一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能

?可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數

項目 內容
顯微物鏡 10×、20×(選配)、50×、100×
光學原理 共聚焦三維成像原理
視野尺寸 1.2×1.2mm~0.12×0.12mm
綜合放大倍率 198-39966
光源 白光LED
受光元件 超高精細彩色CMOS
Z軸測量重復性 <0.5%
在環境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標準臺階樣塊
Z軸測量精度 ±1.5%
Z軸顯示分辨率 1nm
Z軸掃描范圍 10mm
XY軸測量重復性 <0.5%
在環境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測80um標準樣塊
XY軸測量精度 <0.5%
載物臺移動范圍 230 x 230mm
載物臺負載 10kg
Mapping測量功能 可按模板進行多個區域的自動測量
光源壽命 60000小時
絨面金字塔測量 1、表面二維、三維結構;
2、單個金字塔的高寬測量;
3、金字塔計數功能:可自動統計出單位面積內的晶粒數量,并在視圖上以十字符號標記出晶粒位置,不同規格金字塔的數量分布圖。
柵線測量 1、柵線高度、寬測量功能:單視場內的剖面線數量可調節為不低于12條,高度和寬度數據自動計算,且自動計算出高寬比;同時提供高寬比的終端用戶輸入標稱值功能,并可根據標稱值自動進行OK/NG的判定;
2、柵線區域自動劃分功能:可自動圈出柵線的邊緣,并自動計算出該區域內柵線的面積、體積等參數;
3、柵線自動測量功能:具備多條柵線的自動搜索測量功能,能夠根據不同規格的基板來生成測量模板并完成自動測量。
Pad點測量 1、將Pad點按6×7分區域測量,通過拼接可得到3D全形貌;
2、彎曲起伏的形貌表面進行高度差異的測量,由此可以分析Pad點的印刷效果。
真彩圖像功能 可掃描出表面的真彩圖像,以便進行污染區分
凹槽測量功能 針對上下同寬凹槽、上寬下窄凹槽,均能夠進行較好的3D輪廓圖像重建并實現準確的深度和寬度測量分析
鏡頭防撞保護 軟件ZSTOP設置限位防撞保護、硬件電子傳感器防撞保護
噪聲評價 具備納米級分辨率的環境噪聲檢測功能模塊
表面形貌重復性Str 具備表面形貌重復性Str參數的一鍵式分析功能
外形尺寸 540*379*594mm
總重量 45kg
工作電源 AC220V/50Hz
工作環境 溫度10℃~35℃,溫度梯度 < 1℃/15分鐘,濕度30~80% 振動<0.002g,低于15Hz


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