QMS 系列氣體分析儀為廣泛的應用提供高效、經濟的解決方案。這些質譜儀簡化了在線過程監測、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務。

在線監測

QMS 系統可以以每分鐘幾毫升的流速連續采樣氣體。入口可配備在 1 bar 至 10 mbar 的壓力下進行采樣。與氣相色譜儀采用的批量采樣相反，數據是連續采集的。QMS 的快速響應時間不到 0.5 秒。可以在幾秒鐘內記錄完整的光譜，并且可以以高達每秒 25 個點的速率測量單個質量。

緊湊、用戶友好的設計

模擬模式

的四極質譜儀設計與的泵送技術相結合，使整個系統可以集成在一個小型、可移動的包裝中。采樣入口閥和泵可以從前面板控制。操作簡單，不需要詳細了解四極桿或減壓入口。由于泵不含油或其他液體，因此重力對它們沒有影響，這使得該裝置可以直立或側放運行。毛細管用作采樣探針，有多種材料和尺寸可供不同應用使用。

工作原理

QMS 使用兩級減壓入口進入高壓樣氣。這允許使用殘留氣體分析儀（在高真空下運行）作為檢測器。不同的毛細管允許系統在更高或更低的壓力下取樣。大流量通過毛細管，使壓力下降了三個十年。混合渦輪分子/阻力泵通過孔吸入少量氣體，將壓力降低到約10 -6 Torr，而大部分流量直接繞過隔膜泵。電磁閥控制氣流。整個系統由微處理器控制，確保泵和閥門的正確操作。該軟件管理光譜儀并以六種不同模式選擇采集數據。可選的高真空 2.75" CF 端口提供對 RGA 的直接訪問。

旁路流配置

壓力與時間模式

旁通流和樣品流在隔膜泵處重新組合，這使得僅使用一個前級泵成為可能。這有助于系統的小尺寸。旁通流配置對于 QMS 的快速響應時間也很重要。使用泄漏閥的單級減壓會導小的流速和不合理的長采樣時間。另一方面，旁路流量從毛細管到 RGA 室的響應時間不到 0.5 秒。

視窗軟件

QMS 系統由在 PC 上運行的 Windows 軟件包支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據，或按時間間隔安排采集數據。功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、信號器模式、氣體庫、音頻和視頻警報以及全面的在線幫助。探頭參數也可以通過高級 ASCII 命令集進行控制和監視，該命令集可以輕松集成到用戶控制程序中。標準RS-232接口用作與主機的數據鏈路。LabVIEW 驅動程序也可用。