UGAPM 系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（約5x10 -5  mbar L/sec）連續采樣氣體，使儀器成為在線分析的理想選擇。

UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析（0.1 mL范圍）等。

這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在 UGAPM 系統中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細管來適應中真空采樣。使用這種配置，處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零。

工作原理

UGAPM 系統使用單級毛細管減壓入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后，氣流被送到質譜儀（殘余氣體分析儀——RGA），該質譜儀測量每個目標質量的濃度。

UGAPM Windows 軟件為復雜的繪圖和數據分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。

多毛細管入口

可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可適用于不同量程的樣品壓力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系統可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統組件的手動或自動控制選擇。

使用 UGAPM 軟件測量和顯示數據。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據，或計劃在時間采集數據。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數也可以通過高級 ASCII 命令等進行控制和監視。標準 RS-232和以太網接口用作您 PC 的數據鏈路。

最

UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統的價值。它們提供更高的性能、更好的功能，并且價格遠低于競爭對手。