橢圓偏振光譜儀UVISELPLUS是一種無損無接觸的光學測量，基于測量線偏振光經過薄膜樣品反射后偏振狀態發生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米
橢圓偏振光譜儀UVISEL PLUS是一種無損無接觸的光學測量，基于測量線偏振光經過薄膜樣品反射后偏振狀態發生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。
技術參數：
? 光譜范圍: 190-885nm（可擴展至2100nm）
? 微光斑可選50μm-100μm-1mm
? 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器
? 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選
? 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調整，小步長0.01°
主要特點：
? 50KHz高頻PEM相調制，測量光路中無運動部件
? 具備薄膜所需的測量精度，厚膜所需的高光譜分辨率
? 具有毫秒級快動態采集模式，可用于在線實時監測
? 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
? 配置靈活
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