高畫質的鎢燈絲掃描電鏡,圖象質量更進一步
高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。
通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學系統, 可實現實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標準。
規格
| 項目 | 描述 | |
| 二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) | |
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） | |
| 加速電壓 | 0.3～30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6～650Pa | |
| 樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 5～65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20～90° | |
| 可觀察區域 | 直徑 130 mm(旋轉并用) | |
| 樣品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
| 馬達臺 | 5軸標配 | |
| 電子光學系統 | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 | |
| EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
| 圖像顯示 | 操作系統 | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
| 排氣系統 | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
| 機械泵 | 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 | |
觀察
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