應用領域:廣泛應用于元素分析、多相研究、化合物結構鑒定、富集法微量元素分析、元素價態鑒定

應用領域: 廣泛應用于元素分析、多相研究、化合物結構鑒定、富集法微量元素分析、元素價態鑒定。此外在對氧化、腐蝕、摩擦、潤滑、燃燒、粘接、催化、包覆等微觀機理研究；污染化學、塵埃粒子研究等的環保測定；分子生物化學以及三維剖析如界面及過渡層的研究等方面有所應用。

性能特點：

1. 可以分析除H和He以外的所有元素，對所有元素的靈敏度具有相同的數量級；

2. 相鄰元素的同種能級的譜線相隔較遠，相互干擾較少，元素定性的標識性強；

3. 能夠觀測化學位移；

4. 既可測定元素的相對濃度，又可測定相同元素的不同氧化態的相對濃度；

5. 樣品分析的深度約2 nm，信號來自表面幾個原子層，樣品量可少至10-8g，**靈敏度可達10-18g。