旋轉工作臺

旋轉精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 為測量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μmX: 到旋轉工作臺軸的距離 (mm)

旋轉速度

2, 4, 6, 10 rpm

工作臺有效直徑

Φ235mm

Φ200mm

Φ235mm

Φ200mm

調心/ 調水平

A.A.T

D.A.T

A.A.T

D.A.T

調心范圍

±3mm

±5mm

±3mm

±5mm

調水平范圍

±1°

臺面承重

小于30kg

測量直徑

小于Φ300mm

工件直徑

小于Φ580mm

垂直移動(Z軸立柱)

移動直線度 (λc2.5)

0.10μm/100mm

0.10μm/100mm

0.15μm/300mm

0.25μm/500mm

與轉臺軸平行度(母線要素基準)

0.7μm/30a0mm

1.2μm/500mm

定位速度

小于5.0mm/s (測量時: 0.5,1.0, 2.0,mm/s)

檢測高度

測量外徑時

300mm

500mm

測量內徑時

300mm

500mm

檢測深度 (使用標準測桿時)

Φ32×85mm (深度),Φ7×50mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.7μm/150mm

與轉臺軸垂直度 (母線要素基準)

1.0μm/150mm

移動范圍

175mm (–25mm - +150mm 轉臺中心)

移動速度

小于30mm/s (測量時: 0.5, 1.0, 2.0, 5.0 mm/s)

檢出器

測力

約 10 - 50mN, 1 - 5 級

標準測桿, 材質

Φ1.6mm 硬質合金

范圍

標準

±400μm/±40μm/±4μm

跟蹤

±5mm

其他

帶IN/OUT切換功能、測力切換功能(5級切換)、測頭角度指示

(±45°),Z軸方向沖擊探測功能、帶滑動式檢出器(3姿勢規格)

其他

電源

100-240VAC

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標準狀態)

30L/min 標準狀態 (80L/min 以上氣源)

本體重量

180kg

200kg