一、儀器用途：

SEM冷熱臺是一種安裝在掃描電鏡（SEM）上研究樣品原位變溫顯微結構的附件。

產品采用液氮致冷、電阻加熱的方式，提供-190~200℃（選型）或RT~600℃（選型）的變溫環境。

產品需要與溫度控制器、致冷控制器（選配）配套使用，配套的上位機控溫軟件方便進行溫度設置及采集，提供的Labview Vis方便客戶進行定制化編程。

二、儀器特點：

?電熱、液氮可實現快速升降溫

?可增加試樣溫度監測溫度傳感器

?溫控精度高±0.1℃，可編程階梯控溫

?可以在較大的電子束流下獲得高質量圖像

?可適配SEM定制樣品架，安裝/拆卸過程簡單

?制冷完成測試后可快速（60℃/min）升溫達到RT，正常更換樣品，測試效率高。

四、冷熱臺應用案例：