光機電一體化設計,外形結構簡單;掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強;精密激光及探針定位裝置,更換探針及調節光斑簡單方便;采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;馬達自動脈沖控制驅動樣品垂直接近探針,實現掃描區域精確定位;高精度大范圍的樣品移動裝置,可自由移動感興趣的樣品掃描區域;高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據不同精度和掃描范圍要求選擇;采用10X復消色差物鏡CCD光學定位系統,實時觀測與定位探針樣品掃描區域;模塊化的電子控制系統設計,便于電路的持續改進與維護;集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統使用。主要技術指標
產品介紹
友好的軟件界面和操作功能
FSM-AFM操作軟件主要功能特點
原子力顯微鏡廣泛的應用
FM-6800技術規格
名 稱 參 數 工作模式 接觸、輕敲、相位、摩擦力、磁力或靜電力 樣品尺寸 Φ≤90mm;H≤20mm Zui大掃描范圍 橫向50um,縱向5um 掃描分辨率 橫向0.2nm,縱向0.05nm 掃描速率 0.6Hz~4.34Hz 掃描控制 XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A 數據采樣 14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣 掃描角度 任意 樣品移動范圍 0~20mm 馬達趨近脈沖寬度 10±2ms 光學放大倍數 10X 光學分辨率 1um 圖像采樣點 256×256,512×512 反饋方式 DSP數字反饋 反饋采樣速率 64.0KHz 計算機接口 USB2.0 運行環境 運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統 儀器重量體積 40KG,700*480*450mm
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