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太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C

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DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為工業(yè)金相顯微鏡使用。

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 太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C
一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途: 
          DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡,選用優(yōu)質(zhì)的光學元件,配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡,是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無限遠光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數(shù)字攝像頭及圖像測量管理軟件,可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。

性能特點:

1、采用了較的光學顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測量技術。

2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。

3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無限遠光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡

4、可以測量太陽能電池片裂紋長度,崩邊長度角度,印刷位移角度偏差

5、可以測量主、副柵線,背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線

   到電池邊的距離,柵線、斷線長度,斷線缺損和變色的面積

6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑,裂紋,崩邊,掉

   角缺口,印刷偏移主副柵線、背電極的斷線,缺損,扭曲,變色等現(xiàn)象。

7、可對雜質(zhì)、殘留物成分進行分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜

   質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等。





 

二、太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C的技術參數(shù):

型號

技術規(guī)格

目鏡筒

鉸鏈式三目鏡,傾斜30?,內(nèi)置檢偏振片,可進行切換 ;瞳距調(diào)節(jié)范圍 55-75mm,屈光度±5可調(diào)。

目鏡

WF10X(Φ22mm)

物鏡

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL 5X/0.12            工作距離:26.3mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)PL L10X/0.25          工作距離:20.2mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L40X/0.60(彈簧) 工作距離:3.98 mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L60X/0.70(彈簧) 工作距離:3.18 mm

無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片) PL L100X/0.85(彈簧) 工作距離:0.40 mm

落射照明系統(tǒng)

6V 30W鹵素燈,亮度可調(diào)

落射照明器帶 (黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃

視場光欄和孔徑光欄大小可調(diào)節(jié),可插入式起偏振片,可進行偏光觀察和攝影

透射照明系統(tǒng)

阿貝聚光鏡  NA.1.25  可上下升降 。藍濾色片和磨砂玻璃 

集光器,鹵素燈照明適用(內(nèi)置視場光欄) ,6V 30W 鹵素燈,亮度可調(diào)

調(diào)焦機構(gòu)

粗微動同軸調(diào)焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置

轉(zhuǎn)換器

五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位)

載物臺

雙層機械移動式(尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm)

電腦攝像系統(tǒng)

 

1X攝影接口,標準C接口,

CK-500數(shù)字攝像系統(tǒng),分辨率:2592X1944, 芯片尺寸:1/2.5", USB2.0連接,  圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定,有多種圖像處理方式(詳細參數(shù)見CK-500攝像機介紹) 

測量軟件功能:

1、可進行圖像尺寸、亮度、增益、曝光、RGB顏色等多種處理方法。

2、當前圖像放大、縮小、剪切、背景等設置。

3、對圖像中的點、線、圓、圓弧、角度、矩形及任何圖形幾何參數(shù)的測量。測量工具使用方便直觀。是顯微圖像測量與分析的有效工具。


三、系統(tǒng)的組成  


1太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300       2、電腦適配鏡 

3、彩色數(shù)字攝像機CK-500            4、計算機(選購)  


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