XJP607A工業顯微鏡是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業需求而開發的
技術規格 | ||
觀察頭 | 30°鉸鏈式三目(50mm-75mm) | |
目鏡 | WF10×/25mm | |
WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | ||
物鏡 | 平場無限遠復消色差長工作距離物鏡:5×/0.15/W.D.35mm、 10×/0.28/W.D.35mm、20×/0.40/W.D.20mm、50×/0.55/W.D.13mm | |
轉換器 | 可調中心四孔轉換器 | |
平臺 | 雙層移動平臺 | |
平臺尺寸: 190mm×140mm | ||
移動范圍:50mm×40mm | ||
濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍、中性) | |
調焦 | 粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm | |
光源 | 帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/50W,AC85V-230V,亮度可調節 | |
偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 | |
檢測工具 | 0.01mm測微尺 | |
可供附件 | 二維測量軟件 | |
專業金相圖像分析軟件 | ||
測微目鏡 | ||
130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡 | ||
鹵素燈12V/100W | ||
精密載物臺:X-Y行程25mm×25mm,移動精度<5um,數顯手輪最小值:0.1um,360°旋轉盤 | ||
攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | ||
物鏡: 2× | ||
壓平機 | ||
彩色1/3寸CCD 520條線 |
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