美國Photon公司的光束質量分析儀NanoScan采用狹縫掃描技術，在保持BeamScan易用性和靈活性的基礎上提高了產品的主要性能，對紫外到遠紅外光譜范圍內的連續光和脈沖光均可進行測試，探測功率可達千瓦級．

      NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關聯算法可對連續光和kHz以上的脈沖光束進行測量，軟件可對1-16個光斑進行亞微米精度的測量，而且具有ActiveX自動控制功能，便于把NanoScan 集成到其它系統中。

      NanoScan有硅、鍺以及熱釋電探測器三種可供選擇，光譜響應范圍從紫外190nm到100µm以上的遠紅外，狹縫尺寸最小1.8um，可以測量7um-9mm直徑的光斑，NanoScan光束質量分析儀的特點就是不用外加衰減就可以直接測量大功率激光。