觀察方式

明場/暗場/偏光/DIC

觀察筒

30°傾斜

0°- 35°傾斜

正像，無限遠鉸鏈式三通觀察筒，瞳距調節：50-76mm，

分光比：100:0或0:100

目鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調

物鏡

明暗場半復消金相物鏡5X、10X、20X、50X

轉換器

明暗場五孔轉換器，帶DIC插槽

調焦機構

反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm，微調精度0.001mm；帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置，內置100-240V寬電壓系統。

載物臺

8英寸三層機械移動平臺:

平臺面積525mm×330mm

移動范圍：210mm×210mm

12×14英寸機械移動平臺:

平臺面積420mm×718mm，

移動范圍：305mm×356mm；

低手位X、Y方向同軸調節；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動；玻璃載物臺板，（反射用）

晶圓輔助臺

選配

反射照明系統

明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調；帶明暗場照明切換裝置； 帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像

0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調焦

其他

起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉式檢偏鏡插板；DIC微分干涉組件； 反射用干涉濾色片組；高精度測微尺