MH100-IR近紅外顯微鏡,采用4英寸載物臺,可廣泛應用于半導體行業多個領域,匯光科技有現貨供應,真誠歡迎有需要的朋友前來我司試樣選購。
MH100-IR近紅外顯微鏡是以紅外線不可見光為光源,能穿透1mm以內硅材料,配備4寸移動行程載物臺,通過近紅外相機把圖像補足后輸出到電腦屏幕上,可以進行拍照 、測量等。主要用于半導體行業對于芯片隱裂、倒裝芯片、MEMS器件等無損檢測。
一、基本配置
1、顯微鏡機架:含前置底位粗微同軸調焦機構
2、照明器:帶視場光闌和孔徑光闌
3、紅外觀察筒:含紅外相機接筒
4、紅外燈箱:12V100W鹵素燈
5、紅外物鏡
Olympus LMPLN5XIR:5X/0.10 ,W.D. 23;
Olympus LMPLN10XIR:10X/0.30, W.D.23;
Olympus LCPLN20XIR:20X/0.45, W.D.8.3,帶校正環;
Olympus LCPLN50XIR:50X/0.65, W.D.4.5,帶校正環。
6、物鏡轉換器:5孔手動(可選配電動)。
7、近紅外相機:420萬像素,分辨率: 2048×2048,含拍照、測量軟件。
8、紅外截止片:1100nm
9、載物臺
MH100-IR近紅外顯微鏡移動行程X*Y:4*4英寸(也可根據需求定制)
10、晶圓轉盤:選配
11、電腦:選配
二、IR400近紅外相機
1、大靶面,高分辨率:420萬像素,1/2英寸靶面;
2、真實色彩還原:所見即所得級別的色彩還原,ΔE<3;
3、低噪聲,高靈敏度:低至2e-讀出噪聲;
4、深度制冷:二級TEC制冷,可達環境溫度以下10°C;
5、獨立密封艙設計:可防止相機長時間低溫工作時出現結露;
6、MH100-IR近紅外顯微鏡的紅外相機內置大容量圖像緩存:2Gb圖像緩存,確保傳輸穩定性。
三、應用案例圖片
CSP/SIP的非破壞檢查
die chip 失效分析
Vcsel芯片隱裂(cracks)
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