ZZJ-MX12R系列半導體FPD檢測金相顯微鏡
一、 儀器概述：
全新的ZZJ-MX12R半導體 /FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調，可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器，帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm，微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 |
透反機架，前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm，微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統 | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調節 ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm |
帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用） | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 |
照明系統 | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調 ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 組件 |
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