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技術規(guī)格參數(shù):
參數(shù)/ 型號 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H | |
機 臺 結 構 | 玻璃臺尺寸(mm) | 885×1158 | 1085×1358 | 1285×1658 |
X、Y軸運動行程(mm) | 800×1000 | 1000×1200 | 1200×1500 | |
X、Y軸速度(mm/s) | 300 | |||
Z軸運動行程(mm) | 200 | |||
外形尺寸(m) | 2.17×2.38×1.56 | 2.37×2.58×1.56 | 2.57×2.88×1.56 | |
整機重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 | |
光 學 系 統(tǒng) | 光源 | 表面光源--LED表面環(huán)形光源 底光源--LED新型直線光源 | ||
光柵尺分辨力 | 0.5um | |||
X、Y示值誤差 | (3+L/200)um | |||
激光平面度測量 | 重復性3um(選配激光位移器時) |
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