用途和特點：
　　可廣泛適用于計量實驗室對高精度平面的平面度檢測和鑒定。能根據不同的要求打印出各種平面度測試的彩色等高圖以及三維立體透視圖。并給出波峰波谷值（PV），面形誤差（Em），均方根值（Rms），光圈數等面形評價參數。人體溫度對測量可靠性的影響為最小。

儀器的配套性：
　　改型的XQ15-GⅠ激光平面干涉儀、1/3英寸CCD、14″監視器、掃描驅動器、驅動器電源、電腦、EPSON720彩色打印機。
　　電腦配置要求：CPU PⅢ以上，128兆內存，16兆顯存顯卡，視頻捕捉卡。

技術參數：

1. 標準平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

2. 第二標準平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)

3. 準直系統----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm

4. 光源規格----------------－激光ZN18(He-Ne)

5. 干涉室尺寸----------------Φ480×380×285mm