GV10x等離子清洗器（順流灰化器）是由ibssGroup與一位擁有等離子源合作開發而成，是應用于真空腔體中的原位清洗機的一個全新

GV10x等離子清洗器（順流灰化器）是由ibss Group與一位擁有等離子源合作開發而成，是應用于真空腔體中的原位清洗機的一個全新。

GV10x等離子清洗器通常使用空氣或氧氣產生氧的自由基來去除碳氫污染。此外，NIST（美國國家標準技術研究所）研究表明，在GV10x順流灰化器中運用氫氣去除沉積在多層鏡面和其它襯底以及氧化敏感的樣品上的碳沉積方面是有效的方法:

1. GV10x可以在分子泵工作的真空壓力狀態下安全運行，而不需要中斷SEM, FIB或TEM系統的軟件控制。

2. 同時它比傳統方法更加有效10到20倍地去除碳和碳氫污染。

3. 它能去除掃描電子顯微鏡(SEM)圖像中的假象; 使電子顯微鏡保持高分辨率和束流穩定性。

4. 它不但消除掃描電子顯微鏡圖像中的黑色掃描方框，針對聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳污染同樣能得到很好的控制效果。

與普通的等離子清洗機不同的是:順流灰化器工藝(經常被稱為遠程等離子處理)不產生動力沖擊、沒有濺射損傷、無樣品加熱。GV10x順流灰化器能迅速地清潔掃描電子顯微鏡腔內的樣品，允許快速的假象清除，通常僅需幾分鐘的時間，而不需給電鏡腔體放氣。同時具有更大的清潔均勻性，可以更加迅速地清除位于真空腔遠角落表面上的碳污染。由于較大的功率和壓力選擇范圍，GV10x順流灰化器可以被運用到除了SEM腔體之外的清洗，比如清洗同步輻射和紫外光學，臨界尺寸掃描電鏡(CDSEMs)， 檢測性掃描電鏡和X-射線光電子能譜系統，這些系統的大型腔體需要均勻和快速的清潔。

功率： 5 到99 瓦 連續可調等離子功率

壓力： 2 托 到 小于5毫托 （在等離子源出測量）

           在較高的壓力下（大于50 毫托），清洗氣體的平均自由程很短，允許在靠近等離子源的區域去除污染。

           在較低的壓力下（小于50 毫托），清洗氣體的平均自由程比較長, 允許均勻地清除碳污染。同時，清洗發生在分子泵能安全運行的壓力下。

柔和： 使用中性氧或氫的自由基通過非動力學過程灰化氣相碳氫化合物和表面碳。

應用實例

Ibss GV10x清洗晶片的表面（在成像之前）并沒有表現出污染積聚的跡象, ibss GV10x 清洗器能夠在共計13分鐘的清洗時間內去除晶片上幾乎所有的污染區域，進一步清理可能清除矩形污染區域 ，值得注意的是，污染區域的線寬度在清洗之前明顯大很多，但清洗之后又減少到原來的線寬度。

圖1.Imaging Conditions:                                        圖2.Imaging Conditions:                                                                                        

1.2kV Accelerating Voltage（加速電壓）                      1.2kV Accelerating Voltage                    

144pA beam current（電子束）                                  6.08-10-6 Torr chamber pressure                                        

10minutes scan time（十分鐘掃描時間）                      144pA beam current                                                      

6.08-10-6 Torr chamber pressure（腔體壓力）             Cleaning Conditions:    

                                                                            45 Watts   8 minutes

                                                                            (3mins plus 5mins)                              

                                                                            7.53-10-4 Torr chamber pressure                                       

圖3.Imaging Conditions:                                        圖4.Imaging Conditions:         

1.2kV Accelerating Voltage                                        1.2kV Accelerating Voltage 

144pA beam current                                                  144pA beam current 

6.08-10-6 Torr chamber pressure                                 Note: After an initial clean time of   

Cleaning Conditions:                                               3 minutes,only a slight  

50 Watts     13 minutes (total clean time)                     contamination rectangle  

7.32-10-4 Torr chamber pressure                                 was visible after

                                                                               scanning for 10 minutes 

圖5.Imaging Conditions:

1.2kV Accelerating Voltage

144pA beam current

Note: After a total clean time of 13 minutes, 

no contamination was visible after scanning 

for 10 minutes                                                   

GV10x的拓展應用

連接了GV10x 的Gentle Asher™腔體可以用來清潔送入電子顯微鏡腔前的樣品。 GA/GV, 可以極大地防止黑色掃描方框的生成。連接了GV10x 的Gentle Asher™腔體可以用來清潔送入電子顯微鏡腔前的樣品。 GA/GV, 可以防止黑色掃描方框的生成。

在將電鏡腔清潔到可接受的碳氫污染水平后，可以使用順流工藝，通過簡單地將GV10x源移動到Gentle Asher腔中，達到樣品清潔和儲存的目的。客戶的報告聲稱這種有效的結合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺和任何類型樣品的污染，同時保持CDSEM、 SEM、FIB 和TEM中碳氫污染水平的易控制性。預清潔樣品和樣品臺避免了污染電鏡腔體，這樣就延長了電鏡清洗的周期。

將GV10x順流灰化器配置到Gentle Asher™腔上能對樣品進行檢測前的清洗。客戶的經長期使用發現，這樣的結合能有效地減少TEM支撐桿/樣品和SEM樣品上的碳污染, 同時具有更少的樣品損傷，但費用卻不及常規 “等離子清洗機“ 的一半。

多功能 可轉換的GX10x

由于各個儀器的清潔周期不同，可以通過在不同的儀器之間更換GV10x 源將GV10x 順流灰化器應用在幾個實驗室工具上。 在GV10x源和儀器真空腔之間放置一個隔離閥，如S-4700 FESEM所示，可以使重新安置GV10x順流成灰器變得更加簡便。