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普通型硅片檢測顯微鏡 TGB-200

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一、儀器用途 TGB-200硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長工作距離,并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡

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一、儀器用途

 TGB-200 硅片檢測顯微鏡主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產高清晰的圖像,立體感較強,成像較清晰和寬闊,又具有長工作距離,并具有較大的視場范圍和相應的放大倍數,配有高像素的數碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務.是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡。
  硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產企業進行質量控制最普通的儀器。

二、技術參數
1.目鏡
類型 放大倍數 視場(mm)
大視野目鏡 10X Φ16
2.物鏡
類別 放大倍數 數值孔徑(NA) 工作距離(mm)
平場消色差物鏡
(無蓋玻片)
5X 0.12 18.3
10X 0.25 8.9
40X 0.60 3.7
60X 0.85 0.26
3.光學放大倍數:50X 100X  400X 600X
 系統參考放大倍數:50X-4000X
4.載物臺:尺寸 185mm*140mm    移動范圍 75mm*50mm
5.調焦系統:帶限位和調節松緊裝置的同軸粗微動   微動格值 0.002mm
6.濾色片組:轉盤式,黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
8.照明系統:6V/20W鹵素燈,亮度可調;220V(50Hz)
9.防霉:的防霉系統
10.成像系統:高像素的日本JVC攝像頭

三、系統組成
(TGB-200):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡

四、總放大參考倍數
TGB-200:50--4000倍

五、選購件
1.圖像測量軟件  2.目鏡: 20X 10X(帶刻度)  3.物鏡:20X 80X 10X干


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