7111A是一款全橋結構設計的壓阻式MEMS,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整塊單晶硅通過刻蝕成型技術加工而成,包含慣性質量塊和應變計,應變計組成一個可變四臂惠斯通電橋,并且硅片內有特殊的零點平衡電路
7111A是一款全橋結構設計的壓阻式MEMS,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整塊單晶硅通過刻蝕成型技術加工而成,包含慣性質量塊和應變計,應變計組成一個可變四臂惠斯通電橋,并且硅片內有特殊的零點平衡電路。
由于重量輕、尺寸極小和元件結構,傳感器具有出色的共振頻率、低阻抗、高過載、零阻尼無相移的特性。傳感器的高共振頻率使其在包含高頻成分的沖擊脈沖中存活,而這些高頻成分對于具有更低共振頻率的加速度傳感器的慣性系統是破壞性的。
高共振頻率和零阻尼使得加速度傳感器可精確地響應具有快速上升時間的短持續時間沖擊運動。同時頻率響應低至直流或穩態加速度,對于長持續時間瞬態測量,該傳感器也是理想選擇。
主要產品特點:1.MEMS加速度計。2.零頻直流響應輸出。3.沖擊量程200kg。4.密封結構。5.mV輸出。6.鈦合金。7.雙螺釘安裝
主要應用領域:沖擊試驗
主要技術指標:
1.量程(±g):20k,100k,200k
2.靈敏度(μV/g):5,1.5,0.5
3.頻率響應(Hz,±1dB):0-100,000
4.沖擊極限(±g):200,000
5.工作溫度范圍(℃):-50到120
6.重量(克):2
7.尺寸(mm):14×8×3.5
8.外殼材料:鈦合金
9.輸出接口:一體式線纜
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