MTI硅片測量儀硅片尺寸76-300mm高分辨率LCD顯示快速、易于設置的菜單5點測量,厚度變化量以及彎曲度測量網口以及RS232電腦接口前方的USB接口方便存儲數據可達1700µm的測量范圍Proforma300iProforma300GiProforma300OEMi1精度2:±0
MTI硅片測量儀
硅片尺寸76-300 mm 高分辨率 LCD 顯示 快速、易于設置的菜單
5點測量, 厚度變化量以及彎曲度測量 網口以及RS232電腦接口 前方的USB接口方便存儲數據 可達1700µm的測量范圍
Proforma 300i | Proforma 300Gi | Proforma 300 OEMi 1 | |
精度2: | ±0.25 µm | ||
可重復性3: | ±0.25 µm | ||
分辨率: | 0.05 µm | ||
電壓輸入 (電壓): | 100 to 240VAC | ||
電壓輸入 (頻率): | 50 to 60Hz | ||
電力輸入 (功率): | 50 W | ||
使用溫度范圍: | 15 to 40oC | ||
響應時間: | 60ms | 客戶 | |
尺寸(長x寬x高): | 482x330x279 mm | 483x388x89 mm | |
數據接口 | RS232, 網口, USB, LCD | RS232, 網口 | |
可支持的材料4: | |||
Si | |||
Ge | |||
InP | |||
GaAs | |||
重量: | 12.3 kg | 12.4 kg | 5.9 kg |
ProformaTM 300i – 手動晶圓測量工具
Proforma 300i使用MTI專有的快速、準確、可靠的非接觸式PUSH-PULL電容探頭。Proforma 300i可測量直徑是300mm硅片的厚度, 總厚度變化以及彎曲度
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