直流探針
開爾文探針
開爾文探針規(guī)格和應(yīng)用特點(diǎn)：
l 探針做熱補(bǔ)充處理，防止變溫實(shí)驗(yàn)時(shí)探針產(chǎn)生位移離開樣品接觸點(diǎn)
l 雙SSMC接頭，同軸Kelvin開爾文設(shè)計(jì)
l 兩組探針可實(shí)現(xiàn)四線法連接，進(jìn)行IV/CV/Pulse IV測(cè)量
l 可替換針尖，常用針尖半徑有1.5 / 5.0 / 10.0 μm
l 直流小信號(hào)測(cè)量電流精度<>
l LCR測(cè)試<>
l 時(shí)序信號(hào)完整性測(cè)試
l 脈沖激發(fā)/測(cè)量，脈沖小信號(hào)測(cè)量時(shí)間精度10ns
開爾文同軸探針工作原理示意圖：
上圖紅色方框內(nèi)為本次所說明的探針夾具，下圖為放大后的連線使用
詳解圖：
開爾文同軸探針與泰克4200A-SCS半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀連接實(shí)測(cè)的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：
射頻高阻有源同軸探針
多用途高速無源同軸探針
微波無源同軸探針
波導(dǎo)同軸探針
微波差分同軸探針
微波&直流混合探針卡
微波&射頻校準(zhǔn)片
探測(cè)光纖
探測(cè)光纖規(guī)格：
真空陶瓷探針
真空陶瓷探針規(guī)格和應(yīng)用特點(diǎn)：
l 探針為陶瓷襯底的同軸設(shè)計(jì)，分為內(nèi)層芯體和外層Guard保護(hù)層。
l 探針的Guard保護(hù)層與探針臺(tái)內(nèi)部的同軸電纜線的外層屏蔽線連接，同軸電纜再與探針臺(tái)外部的三同軸接口連接，實(shí)現(xiàn)從探針臺(tái)外部接口到探針之間電信號(hào)的全程Guard保護(hù)性傳輸。
l 配合半導(dǎo)體分析儀或高精度源表測(cè)試微小漏電流小于100 fA。
l 探針熱沉到樣品臺(tái)，減小探針和樣品臺(tái)的溫差。
l 針尖直徑有5.0μm / 10.0μm。
l 陶瓷探針與泰克4200A-SCS半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀連接實(shí)測(cè)的漏電流數(shù)據(jù)圖如下：
