C12高低溫探針臺產品概要C12高低溫探針臺具有優異的機械系統,結構性能穩定,人體工程學設計,操作便捷,支持多功能升級,功能豐富全面
C12高低溫探針臺
產品概要
C12高低溫探針臺具有優異的機械系統,結構性能穩定,人體工程學設計,操作便捷,支持多功能升級,功能豐富全面。該產品主要應用于集成電路,LED,LCD,太陽能電池,半導體行業的制造和研究領域。
基本信息
產品型號 | C12 | 工作環境 | 高低溫環境 |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | 操控方式 | 手動 |
產品尺寸 | 1400mm*920mm*920mm | 設備重量 | 150KG/170KG/250KG |
應用方向
高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,材料/器件的IV/CV特性測試、0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等
規格 | SC-6 | SC-8 | SC-12 | |
外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1400mm*920mm*920mm | |
重量 | 150公斤 | 約170公斤 | 約250公斤 | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
樣品臺 | 尺寸 | 6英寸,可360度旋轉 | 8英寸,可360度旋轉 | 12英寸,可360度旋轉 |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
移動精度 | 1um | |||
切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 | |||
樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
電學運用 | 電學獨立懸空,可作為背電極使用 | |||
針座平臺 | 規格 | O型平臺,最多可放置8個針座 | O型平臺,最多可放置10個針座 | O型平臺,最多可放置12個針座 |
行程&調節方式 | 平臺可以快速升降,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調,行程25mm,升降精度1um | |||
溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
溫控精度 | 溫度分辨率 : 0.01°C | |||
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |||
控溫速率 | ±0.1°C /小時 | |||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||
光學特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm | ||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡氣動升降 | |||
放大倍數 | 16~100X/20~4000X | |||
鏡頭規格 | 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配) | |||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字) | |||
點針規格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
漏電精度 | 10pA/100fA(配置屏蔽箱時) | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 | |||
應用方向 | 高低溫環境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。 | |||
可選附件 | 探針卡夾具 | 防震臺 | 低電流/電容測試 | |
顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | ||
同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 | |||
射頻測試附件 | 光強/光譜/波長測試選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | ||
高壓/大電流測試套裝 | 有源探頭 | 特殊定制 | ||
屏蔽箱 | 轉接頭 | |||
特點 | ||||
非真空環境下的低溫測試,可達-100℃ | 大手柄驅動,操作舒適,無回程差設計 | |||
兼容高倍率金相顯微鏡,可微調移動 | 0.2微米以上芯片內部線路/電極/PAD測試 | |||
高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 | |||
可用于12英寸以內樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 | |||
同軸絲杠傳動結構,線性移動 | 器件的高頻特性(支持至300GHz頻率) |
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