UVISELPlus橢圓偏振光譜儀UVISELPlus光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nmUVISELPlus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀
UVISEL Plus光譜范圍從FUV到NIR：190-2100nmUVISEL Plus是材料科學研究的理想工具。
產品優勢
●高精度和高靈敏度
●模塊化設計
●寬光譜范圍： 190-2100 nm
●集數據測量、建模和自動化操作為一體的軟件包
獲得的信息
●膜層厚度，從1?到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光學常數 (n,k) ，適用于各向同/異性和漸變層
●光學特性如：吸收系數α, 光學帶隙Eg
●材料性能：合金成分、孔隙率、結晶度及形貌等
●穆勒矩陣
●退偏
UVISEL 規格
●光譜范圍：標配190-885nm，可擴展至近紅外2100nm
●檢測系統：高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器
手動配置
●光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（針孔）
●樣品臺：直徑150mm，手動調節高度（20mm）和傾角
●卡位量角器：手動調節角度，從55°到90°，步徑5°
自動配置
●光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（針孔）
●自動樣品平臺：200 x 200mm或300 x 300mm，手動調節高度（4mm）和傾角；●XYZ樣品臺，theta平臺
●自動量角器：自動調節角度，從45°到90°，步徑0.01°
集成型量角器
●手動調節入射角度，從35°到90°，步徑5°
●樣品臺：直徑150mm，手動調節高度（20mm）
●自動準直系統（可選）
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
在線配置
●機械適配器：CF35或KF40法蘭
●易于在在線和離線配置間更改
選配
●附件：冷熱臺、液體樣品池、電化學反應池、反射模塊（測試0°入射的反射率）等
●可視化：CCD攝像機
性能
●準確度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空氣對射1.5 - 5.3 eV
●重復性：NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001
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