設備主機

外形尺寸

900mm（長）×550mm(寬)×730mm(高)

重量

30KG

整機調節

整機水平測試/調節

電源

電壓

100～240VAC

功率

150W

頻率

50/60HZ

空間

平臺尺寸

12in

試樣

12in×15mm

樣品臺調節

自動3D移動平臺

行程160mm，精度0.1mm
360°無極旋轉
旋轉精度，0.01°

攝像系統

圖像

5000（H）× 4000（V）
 

幀率

200fps（可升級更高幀數）

傳感器

SONY 1/1.8"

光譜

黑白/彩色

ROI

自定義

顯示線寬

自定義

曝光時間

自定義

電源

5 VDC USB 接口

傳輸

USB3 Vision

顯微鏡頭

焦距

200mm±5mm（變焦調節）

倍率

10倍

視角調節

±10°

分辨率標度

4～14um

采集系統調節

俯視/仰視/平視

光源

類型

單波長工業LED（冷光）

波長

470nm

光場

φ50mm

光點

96粒密集式

壽命

50000Hour

注射系統

滴液方式

精密

控制方式

軟件數字控制

滴液精度

0.01μl

注射器

高精密氣密性注射器

接液方式

精密電機控制

接液高度

智能判定

容量

100μl/500μl/1000μl(標配500μl)

針頭

0.51mm全不銹鋼超疏水針頭(標配)

速度

1μL/min ～2000μL/min

軟件

接觸角范圍

0～180°

分辨率

 0.01°

全自動測量

全自動一鍵測量功能
（可編程測試點位，多點自動測量）

數據量

一鍵分析12in晶圓>100個數值

形態譜圖

2D形態數據譜圖

接觸角測量方式

全自動、半自動、手動

分析方式

懸滴法、停滴法（2/3態）、氣泡捕獲法、座滴法、座針法、插板法

分析方法

靜態分析、自動增液縮液動態分析、潤濕動態分析、實時分析、雙邊分析、前進后退角分析

測試方法

圓法、橢圓/斜橢圓法、微分圓/微分橢圓法、Young-lapalace、寬高法、切線法、區間法

表/界面張力測試

測試范圍

 0～3000mN/m

分辨率

 0.01 mN/m

張力測量方式

全自動

分析方式

氣泡捕獲法、懸滴法、實時譜圖

表面自由能

測試方法

Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸濕功、鋪展系數

數據處理

輸出方式

自動生成，可導出/打印EXCEL、Word、譜圖等多種報告格式