自平衡支架主要參數:
●平面不大于0.10mm/㎡
●表面粗糙度小于0.8um
●固有頻率1.0Hz～2.8Hz
●振幅不大于2.2um
本支架可氣泵自動充氣，自動調節平衡，使用方便，支撐腿直徑為220mm,整體高度為600，可調節范圍0-70，支撐腿可選擇方形！
氣浮式支架主要參數：
·平面度不大于0.10mm/㎡
·表面粗糙度小于0.8um～1.6um
·固有頻率3Hz～5Hz
·振幅不大

 自平衡支架主要參數: 

●平面不大于0.10mm/㎡

●表面粗糙度小于0.8um 

●固有頻率1.0Hz～2.8Hz

●振幅不大于2.2um

本支架可氣泵自動充氣，自動調節平衡，使用方便，支撐腿直徑為220mm,整體高度為600，可調節范圍0-70，支撐腿可選擇方形！

氣浮式支架主要參數：

·平面度不大于0.10mm/㎡

·表面粗糙度小于0.8um～1.6um

·固有頻率3Hz～5Hz

·振幅不大于4um

本支架不可自動充氣，為人工充氣，

支撐腿直徑為220mm,整體高度為600，可調節范圍0-70，支撐腿可選擇方形！